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主营进口气动工具（油压脉冲扳手，风批，控制器）；电动工具（电动螺丝刀，扭力测试仪）；环境设备（集尘机，鼓风机，吸尘器）；自动化控制器材（气管，接头，继电器，传感器，导轨，滑轨等）；防静电产品（静电测试仪，离子风机，离子风棒）；物流搬运设备（堆高机，拖板车，叉车）等产品的销售
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日本HORIBA堀场DZ-100超薄型质量流量模块15713876121
日期：2026-10-08 14:41
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摘要：日本HORIBA堀场 DZ-100 超薄型质量流量模块
15713876121
日本HORIBA堀场DZ-100超薄型质量流量模块15713876121
日本HORIBA堀场DZ-100超薄型质量流量模块15713876121
日本HORIBA堀场DZ-100超薄型质量流量模块15713876121
堀场DZ-100是HORIBA超薄型质量流量模块，产品定位是“10mm 超薄宽度 + 不牺牲性能”，为半导体设备气箱的高密度集成设计。
基础参数
模块宽度：10 mm。
重量：230 g。
响应时间：≤0.4 秒。
测量原理：压差层流式（非热丝传感），受温度和供气压力波动影响较小
控制方式：压电阀闭环驱动，支持多气体、多量程在线切换。
通信与供电：EtherCAT 总线通讯；电源组件外置，一台电源盒多可驱动 4 台模块。
重复性：±0.3% S.P.（主力量程型）。
工作温度：15～45°C。
主要特点
超高密度集成：10mm 的宽度意味着在有限的“气箱”空间内可以塞进更多的流量通道，直接缩小设备体积，并让气箱更靠近反应腔，缩短气体置换路径。
性能无损的薄型化：继承了 D500 的 CRITERION™ 技术，虽然尺寸大幅缩小，但仍保持高精度和宽量程控制能力，没有因为变小而牺牲性能。