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主营进口气动工具（油压脉冲扳手，风批，控制器）；电动工具（电动螺丝刀，扭力测试仪）；环境设备（集尘机，鼓风机，吸尘器）；自动化控制器材（气管，接头，继电器，传感器，导轨，滑轨等）；防静电产品（静电测试仪，离子风机，离子风棒）；物流搬运设备（堆高机，拖板车，叉车）等产品的销售
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日本HORIBA堀场D700T双阀压力式质量流量控制器15713876121
日期：2026-10-09 17:24
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摘要：日本HORIBA堀场 D700T 双阀压力式质量流量控制器
15713876121
日本HORIBA堀场D700T双阀压力式质量流量控制器15713876121
日本HORIBA堀场D700T双阀压力式质量流量控制器15713876121
日本HORIBA堀场D700T双阀压力式质量流量控制器15713876121
堀场 D700T 是 HORIBA旗下 CRITERION 系列的**压力式质量流量模块，专为半导体制造的苛刻工艺设计，产品定位是“全流量域快响应+强抗压波动”。
基础参数
响应速度：≤ 100 毫秒（设定到设定、上升与下降），全流量域均达到此水准。
流量精度：标准 ±0.8% S.P.，可选高精度规格 ±0.45% S.P.。
重复性：±0.15% S.P.。
工作温度：15～60°C（较宽的环境温度范围）。
供电与压力：24 VDC 供电，过程压力范围约 2.4～3.5 bar。
技术特点
双阀结构（Twin Valve）：CRITERION 系列采用两根阀门串联的设计。主阀负责精细调节，下游阀负责高速切断，这是实现全流量域 100ms 以内快速下降的关键。
双向抗压不敏感：D700T 进一步优化到对下游（向腔体供气侧）的微小压力波动也能有效抑制，流量控制更稳定。
Multi-Diagnosis 自诊断：无需从设备上拆下模块，即可自检流量精度、压力传感器漂移、阀座泄漏等老化问题，提前预警，避免产线非计划停机。