产品名称：瑞士INFICAN英福康泄漏检测仪UL6000Fab系列

INFICON UL6000 Fab产品系列专为满足*关键和苛刻的检漏应用而设计。UL6000采用经现场验证的真空设计，搭载INFICON**软件算法I·CAL和

HYDRO·S，

提供灵活的测试能力、高灵敏度和快速准确的结果，使任何检漏应用都变得快速简便。

UL6000 在所有测量范围内均能提供*快的响应时间，并在达到测试条件和*终结果方面具有极短的循环时间。专门设计的真空架构可提供您所要求的持续

高氦气抽速和极快的响应时间。

高效的泄漏测试：

泄漏检测既耗时又复杂。通过测量压力上升率，半导体和真空装备在运行期间会受到持续监测。一旦这种集成泄漏测试指示存在泄漏，随后将使用氦气喷雾

法定位泄漏位置，以便进行必要的维修。之后会进行另一次泄漏测试，使用压力增加法或所谓的真空衰减测量法——这是一个复杂的过程，需要重复进行，

直到检测到所有泄漏。此外，为了尽可能**，对于大型装备体积，该程序的测量时间通常特别长。得益于I·RISE（我们的智能升压速率功能），UL6000 

Fab PLUS能够自动执行压力增加测量，并将其与氦气喷雾法相结合。我们的**系统使测量时间大幅下降，从而有助于*大限度地减少全年龄漏检测试和晶

圆厂装备维护的总体时间。体验更快、更**的测量结果——无论腔室体积大小，均可在10秒内完成。

优势：
Fab产品系列：

*先进的传感器技术

HYDRO-S（氢气抑制）功能可使测试条件快速达成。

I-CAL（智能泄漏率计算算法）确保在所有测量范围内都能快速响应泄漏。

特制的多进气口涡轮分子泵，在所有压力下均能提供优化的氦气抽速和高氦气压缩比，从而实现**的灵敏度、响应速度和快速清理效果。

增压涡轮分子泵，可对任何测试对象（包括*大体积和腔室）实现极速响应。

经市场验证的INFICON磁扇区质谱仪，凭借无故障、免维护的设计，多年来始终提供准确且可重复的结果。

具备保护UL6000免受氦气和颗粒污染的自我保护功能，甚至还有自动吹扫循环，确保UL6000在您需要时随时待命。

可旋转的显示/控制界面，以及可选的远程手柄，以提供操作灵活性。

可通过软件启用对单元和系统软件的访问控制，以防止未经授权的使用或对测试设置的意外修改。

通过电子邮件获取软件更新，让您的UL6000保持*佳性能。

工作站设计拥有*佳高度的工作台面，包含防静电垫和工具箱，方便测试。

Fab PLUS 产品系列：

配备I·RISE，我们的智能升压技术：提供设备内压力增加测试，并结合氦气喷涂法

10秒内的升压率测量

有助于缩短泄漏测试和制造装备维护的总体时间

更快的速度，更高的精度

典型应用：

用于半导体和平面显示工具的组件、子组件及大型腔室的检漏测试

半导体和平面工具的检漏测试

航空航天零部件、子组件及系统的泄漏测试

储罐/储罐的泄漏测试

规格：

氦气*小检漏率（真空法）：＜5×10⁻¹² 毫巴・升 / 秒

氦气*小检漏率（嗅探模式）：＜5×10⁻⁸ 毫巴・升 / 秒

*大入口压力（MASSIVE 模式）：标准大气压（约 1013 毫巴）

粗抽泵类型：罗茨泵

粗抽泵的*大抽速：＞36 立方米 / 小时

入口抽速（100-1000 毫巴）：23 立方米 / 小时

进口抽速（10-100 毫巴 和 1-10 毫巴）：26 立方米 / 小时

*大氦气抽速（ULTRA 模式）：＞36 升 / 秒

*大氦气抽速 DN63 转 DN40：约 30 升 / 秒

50 升的响应时间：1.4 秒

抽至 1 毫巴的抽气时间（50 升）：52 秒

抽至 1 毫巴的抽气时间（100 升）：104 秒

抽至 1 毫巴的抽气时间（500 升）：527 秒

抽至 1 毫巴的抽气时间（1000 升）：1054 秒

向大气排放 50 升耗时：16 秒

启动就绪时间：＜2 分钟

校准时间：＜30 秒

进口法兰：DN63 ISO-K

可检测质量（ULTRATEST 传感器技术）：2,3,4（氢气、氦 3、氦 4）

电源电压：100 至 230 伏，50/60 赫兹

*大功耗：1500 伏安

典型功耗：700 伏安

重量：143 公斤

尺寸（长 × 宽 × 高）：1050×427×1040 毫米；42×21×41 英寸