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HONDA本多石英振动体清洗机W-357-1MQG-SKC详询13525516487
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石英振动体类型
下一代清洗技术，实现低损害和高清洁度
2006年，世界上**台石英振动体超声清洗装置投入实际使用。
在这种方法中，通过在石英振动体上叠加超声波对半导体晶圆进行清洗。
与批量清洗和流水清洗相比，可以减少化学品的使用量，由于只有石英玻璃与液体接触，没有垫片等橡胶材料与液体接触，因此能保持较高的清洁度。
石英振动体有不同的形状，以适应不同的用途，能够根据需要进行有效的清洗，如低损伤清洗、大面积清洗、斜面（边缘表面）和缺口（晶圆边缘表面的缺口）的清洗等。
特长
对具有细微结构的晶片进行低损伤清洗
■通过在石英振动元件上叠加超声波对半导体晶片进行清洗。
将超声波振动从石英振动元件通过化学溶液传播到半导体晶片上，接触区的化学溶液振动，加速去除表面污染。
■清洁度高，对半导体晶圆的损害*小。
与使用橡胶材料（如垫片）的设备相比，使用石英与化学溶液接触，可以确保清洁，而不会有橡胶溶出。
■震荡器冷却功能通过用气体（如氮气）冷却震荡器，可以实现稳定的连续工作，没有频率波动。
冷却还能确保没有温度的突然变化，从而延长使用寿命。
用途
胶体残留物的**
封边和灰化后的聚合物**
栅电极极清洗
CMP后的清洗
类型 W-357-1MQG-SKC
振荡模式 单频震荡
额定输出 12W
标称震荡频率 1MHz
电源输入 AC100V～240V
单相50/60Hz 300VA
外部尺寸
WxDxHmm 180×250×100
（不包括凸出部分，包括橡胶脚）
质量 2.2kg
