产品名称：便携式气体检测仪

COSMOS新宇宙便携式气体检测仪XP-703DⅢ详询18538758921

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半导体材料气体检测

检测对象

H2丨AsH3丨B2H6丨SiH4丨PH3

检测浓度

1.0μmol/mol丨0.5μmol/mol丨0.2μmol/mol丨0.5μmol/mol丨0.3μmol/mol

检测原理

**型半导体式

采样方式

自动吸引式

应用行业

半导体制造

产品描述：半导体材料气体检测

可检测微量的半导体材料气体泄漏，可对半导体工厂等使用毒性气体的场所进行泄漏检测，

也可对氢气相关设备提供**保障。

01.产品特点

·  小型·轻量

·  可以检查非常微量的气体泄漏

·  适合氢气相关设备的**防护

·  搭载的泵有自动停止功能

·  搭载[自动气体排气模式]功能

·  保护等级约为IP22（JIS C  0920）※安装皮套时

02.产品用途

·  半导体工厂/石油化学工厂等

·  在使用半导体材料气体/毒性气体的现场进行泄漏检测

03.产品参数

型号 XP-703DⅢ

检测对象气体 半导体材料气体(砷烷、磷化氢、乙硼烷、硅烷、氢气)

检测原理 **型半导体式

采样方式 自动吸引式

  砷烷 磷化氢 乙硼烷 硅烷 氢气

AsH₃ PH₃ B₂H₆ SiH₄ H₂

可检测泄漏量

[Pa·m³/s] 2.53x10⁻⁷ 1.52x10⁻⁷ 1.01x10⁻⁷ 2.53x10⁻⁷ 5.07x10⁻⁷

可检测浓度

[μmol/mol] 0.5 0.3 0.2 0.5 0.1

反应时间 10秒以内(探测的气体为可检测浓度的3倍时，灵敏度设定为[4])

报警方式 发出断断续续的声音及报警灯闪烁

电源 5号碱性干电池(LR6)2节

连续使用时间※1 约12小时(5号碱性干电池)[在常温·常湿条件下]

保护等级※2 IP22 相当※3

使用压力范围 大气压(800~1100hpa)

使用温湿度范围 0C~40℃、85%RH以下(无结露现象)

外形尺寸 W38xH130xD32mm(突出部分除外)

重量 约190g(包含电池、皮套)

标配附件 皮套、引导管过滤片、替换用过滤芯、导气管、点检气体、手提挂绳、5号碱性干电池2节等

※1. 根据不同环境条件、使用条件、保存期限、电池厂家，有时会有不同。

※2. 安装皮套时。

※3. IP22相当是指机器内部危险场所附近所对应的保护构造(IP2X)、与垂直方向呈15°范围内掉落的水滴不会引起机器内部异常的防浸水构造(IPX2)。