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只需更换传感器组件,即可检测各种半导体材料气体
检测对象
毒气/半导体材料气体
检测范围
根据规格而定
检测原理
定电位电解式
检测方式
泵吸引式
应用行业
石油化工、半导体制造
产品描述:只需更换传感器组件,即可检测各种半导体材料气体
01.产品特点
· 只需要更换传感器单元就可以检测各种对象气体
· 用盒式传感器单元无需进**体检测器校正
· 可以大幅度削减成本和维护时间
02.产品用途
· 半导体工厂/石油化学工厂等
· 在使用半导体材料气体/毒性气体的现场进行泄漏检测
03.对象气体
型号 气体 满量程
XDS-7NH NH3 100μmol/mol
XDS-7SH SiH4 25μmol/mol
XDS-7DC SiH2Cl2 25μmol/mol
XDS-7AH AsH3 250nmol/mol
XDS-7PH PH3 1μmol/mol
XDS-7BH B2H6 500nmol/mol
XDS-7SE H2Se 250nmol/mol
XDS-7GH GeH4 1μmol/mol
XDS-7CL Cl2 5μmol/mol
XDS-7CF ClF3 1μmol/mol
XDS-7HC HCl 25μmol/mol
XDS-7HF HF 10μmol/mol
XDS-7HB HBr 10μmol/mol
XDS-7NO NO 100μmol/mol
XDS-7HS H2S 50μmol/mol
XDS-7CO CO 250μmol/mol
XDS-7DS Si2H6 25μmol/mol
XDS-7F2 F2 5μmol/mol
XDS-7OZ O3 1μmol/mol
XDS-7SD SO2 10μmol/mol
XDS-7ND NO2 10μmol/mol
XDS-7NF NF3 100μmol/mol
04.产品参数
型号 XPS-7Ⅱ
检测对象气体 半导体材料气体
检测原理 定电位电解式
检测方式 泵吸引式
检测范围 根据规格而定
显示分辨率※1 满量程的百分之一或者两百分之一
指示精度※2 FS±10%以内
报警模式 2段报警方式
报警方式 发出断续声及报警灯闪烁
应答时间※2 60秒以内(60%应答)
浓度显示方式 LCD数字显示
使用温度范围 0℃~40℃
电源 5号碱性干电池4节或专用AC适配器(选购品)
连续使用时间※3 连续12小时以上(使用碱性干电池、无报警、20℃时)
外形尺寸 W62xH150xD128mm(突出部分除外)
重量 约1.3kg(不包含电池)
标配附件 肩带、5号碱性干电池4节、过滤片2枚
选购品※4 专用AC适配器(AC100~240V/DC6V)、传感器专用通电台、数据记录收集套装
※1. 根据气体种类不同,满量程也会略有不同。
※2. 同一测量条件下。
※3. 根据不同环境条件、使用条件、保存期限、电池厂家,有时会有不同
※4. AC适配器、数据记录收集套装、以及EC-7不属于CE范围。



