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主营进口气动工具(油压脉冲扳手,风批,控制器);电动工具(电动螺丝刀,扭力测试仪);环境设备(集尘机,鼓风机,吸尘器);自动化控制器材(气管,接头,继电器,传感器,导轨,滑轨等);防静电产品(静电测试仪,离子风机,离子风棒);物流搬运设备(堆高机,拖板车,叉车)等产品的销售

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  • 产品名称:高频石英振动体清洗机

  • 产品型号:W-357-1MQG-SKC
  • 产品厂商:HONDA本多
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HONDA本多高频石英振动体清洗机W-357-1MQG-SKC 联系人 卫经理 18538758921
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HONDA本多高频石英振动体清洗机W-357-1MQG-SKC  联系人 卫经理 18538758921

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在这种方法中,通过在石英振动体上叠加超声波对半导体晶圆进行清洗。
与批量清洗和流水清洗相比,可以减少化学品的使用量,由于只有石英玻璃与液体接触,没有垫片等橡胶材料与液体接触,因此能保持较高的清洁度。
石英振动体有不同的形状,以适应不同的用途,能够根据需要进行有效的清洗,如低损伤清洗、大面积清洗、斜面(边缘表面)和缺口(晶圆边缘表面的缺口)的清洗等
对具有细微结构的晶片进行低损伤清洗

通过在石英振动元件上叠加超声波对半导体晶片进行清洗。
将超声波振动从石英振动元件通过化学溶液传播到半导体晶片上,接触区的化学溶液振动,加速去除表面污染。
清洁度高,对半导体晶圆的损害*小。
与使用橡胶材料(如垫片)的设备相比,使用石英与化学溶液接触,可以确保清洁,而不会有橡胶溶出。
振荡器冷却功能通过用气体(如氮气)冷却震荡器,可以实现稳定的连续工作,没有频率波动。
冷却还能确保没有温度的突然变化,从而延长使用寿命。
用途
胶体残留物的**
封边和灰化后的聚合物**
栅电极极清洗
CMP后的清洗

类型 W-357-1MQG-SKC
振荡模式 单频震荡
额定输出 12W
标称震荡频率 1MHz
电源输入 AC100V~240V
单相50/60Hz 300VA
外部尺寸
WxDxHmm
180×250×100
(不包括凸出部分,包括橡胶脚)
质量 2.2kg



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