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产品资料
简单介绍:
HONDA本多高频石英振动体清洗机W-357-1MQG-SKC 联系人 卫经理 18538758921
详情介绍:
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在这种方法中,通过在石英振动体上叠加超声波对半导体晶圆进行清洗。
与批量清洗和流水清洗相比,可以减少化学品的使用量,由于只有石英玻璃与液体接触,没有垫片等橡胶材料与液体接触,因此能保持较高的清洁度。
石英振动体有不同的形状,以适应不同的用途,能够根据需要进行有效的清洗,如低损伤清洗、大面积清洗、斜面(边缘表面)和缺口(晶圆边缘表面的缺口)的清洗等
对具有细微结构的晶片进行低损伤清洗
通过在石英振动元件上叠加超声波对半导体晶片进行清洗。
将超声波振动从石英振动元件通过化学溶液传播到半导体晶片上,接触区的化学溶液振动,加速去除表面污染。
清洁度高,对半导体晶圆的损害*小。
与使用橡胶材料(如垫片)的设备相比,使用石英与化学溶液接触,可以确保清洁,而不会有橡胶溶出。
振荡器冷却功能通过用气体(如氮气)冷却震荡器,可以实现稳定的连续工作,没有频率波动。
冷却还能确保没有温度的突然变化,从而延长使用寿命。
用途
胶体残留物的**
封边和灰化后的聚合物**
栅电极极清洗
CMP后的清洗
类型 | W-357-1MQG-SKC |
振荡模式 | 单频震荡 |
额定输出 | 12W |
标称震荡频率 | 1MHz |
电源输入 |
AC100V~240V 单相50/60Hz 300VA |
外部尺寸 WxDxHmm |
180×250×100 (不包括凸出部分,包括橡胶脚) |
质量 | 2.2kg |
