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联系我们:15890105855
日本KONSEI近藤间歇式晶片气爪WHB系列
お客様のご仕様に合わせて設計製作します。実績豊富、まずはお問い合わせください。25枚一括搬送。
■吸着・エッジクランプ・おとしこみ各方式特殊対応実績豊富。
■ ウエハご希望搬送枚数を一括搬送できるユニットを設計製作いたします。
事例 ・5枚一括搬送ユニット ・25枚一括搬送ユニット
クリーン梱包はしておりません。
型 式
WHB-□□□AS‐ □□
搬送ワーク
ウエハ
ワークサイズ
φ300 //φ450
搬送方式
3 種類( おとしこみ・吸着・エッジクランプ)
搬送枚数
2 枚~ 25枚
駆動方式
閉方向
※詳細につきましては特殊仕様のためお問い合わせください
開方向
動作ストローク
把持力
クリーン度
フォーク材質
CERP
駒・仮受け座・パット
PEEK
本体重量
約19 ㎏(φ300 の25枚搬送ユニット参考)
オプション
開閉確認センサー