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日本KONSEI近藤单晶片卡爪WHA系列
お客様のご仕様に合わせて設計製作します。実績豊富、まずはお問い合わせください。エッジクランプだから表裏面に接触しません。
■固定搬送
クランプして搬送することで、あらゆる搬送姿勢に対応可能です。装置の高速化に伴う芯ズレを防止します。
■ ウエハ表裏に対して非接触
エッジのみに接触し、クランプ・吸着搬送に伴うパッド痕の心配がありません。
■ クリーン度クラス1対応
■WHA シリーズ
サイドアームのみの片側駆動式エッジクランプ
型式
WHA-200AS
WHA-300AS
WHA-450AS
搬送ワーク
ウエハ
ワークサイズ
φ200
φ300
φ450
搬送方式
エッジクランプ
搬送枚数
1枚
駆動方式
閉方向
スプリング(クランプ方式)
開方向
バーキューム圧-60KPa ~95KPa (負圧シリンダ採用)
動作ストローク
10 ㎜ (クランプ7㎜ クランプシロ3㎜)
把持力
2 .4N ~1.9N
約7N
クリーン度
FED 規格 クラス1 (吸引要)
フォーク材質
CFRP
駒・仮受け座・パット
PEEK
本体重量
約0.4Kg
約0.5Kg
約1.7Kg
オプション
開閉確認センサー
お客様のご仕様に合わせて設計製作します。実績豊富、まずはお問い合わせください。エッジクランプだから表裏面に接触しません。
■固定搬送
クランプして搬送することで、あらゆる搬送姿勢に対応可能です。装置の高速化に伴う芯ズレを防止します。
■ ウエハ表裏に対して非接触
エッジのみに接触し、クランプ・吸着搬送に伴うパッド痕の心配がありません。
■ クリーン度クラス1対応
■WHA シリーズ
サイドアームのみの片側駆動式エッジクランプ
お客様のご仕様に合わせて設計製作します。実績豊富、まずはお問い合わせください。エッジクランプだから表裏面に接触しません。
■固定搬送
クランプして搬送することで、あらゆる搬送姿勢に対応可能です。装置の高速化に伴う芯ズレを防止します。
■ ウエハ表裏に対して非接触
エッジのみに接触し、クランプ・吸着搬送に伴うパッド痕の心配がありません。
■ クリーン度クラス1対応
■WHA シリーズ
サイドアームのみの片側駆動式エッジクランプ
型式
WHA-200AS
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搬送ワーク
ウエハ
ワークサイズ
φ200
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搬送方式
エッジクランプ
搬送枚数
1枚
駆動方式
閉方向
スプリング(クランプ方式)
開方向
バーキューム圧-60KPa ~95KPa (負圧シリンダ採用)
動作ストローク
10 ㎜ (クランプ7㎜ クランプシロ3㎜)
把持力
2 .4N ~1.9N
約7N
クリーン度
FED 規格 クラス1 (吸引要)
フォーク材質
CFRP
駒・仮受け座・パット
PEEK
本体重量
約0.4Kg
約0.5Kg
約1.7Kg
オプション
開閉確認センサー