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FLUORO福乐M100-200半导体专用直压式手动晶圆镊子平山卫18538758921
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是日本FLUORO福乐推出的8英寸半导体专用直压式手动晶圆夹持工具,属于M系列的高强度主力款,专为干法无尘室场景设计
高强度无析出设计:PEEK材质机械强度表现优异,整机一体成型无金属铆钉、无粘接胶水,从源头杜绝金属离子析出污染晶圆有源区域的风险。
✅ 无损夹持结构:仅两点接触晶圆侧边外缘,完全不触碰晶圆正反面的光刻胶层、镀膜层和图形面,接触面经光学抛光处理,大幅降低崩边、划伤和微粒产生概率。
✅ 操作逻辑友好:直压式无锁止结构,手捏夹紧、松手释放,无需外接真空泵和气源,单手即可完成取放操作,切换使用无需改变操作习惯。
✅ 端头自带限位挡块,可防止夹持过程中晶圆滑移脱落,避免晶圆意外掉落损坏。
🎯 典型适用场景
半导体干法无尘车间内8英寸晶圆的短距离转运、外观检验、实验室取样
机台应急取片、制程中转等无需长距离持料的间歇性操作场景
静电非敏感的常规硅片、化合物基板的人工取放作业
⚠️ 使用边界提醒
❌ 干法环境使用,不可浸入酸碱药液槽内,且PEEK材质不耐浓硫酸,存在硫酸雾的工况建议选用M110-200型号替代。
❌ 无ESD防静电功能,静电敏感工位(如SiC、GaN裸片、CMOS图像传感器)需选用E100-200导电PEEK型号。
❌ 无杠杆锁止机构,夹持力完全依赖操作员手指持续施力,长距离转运或长时间持料场景建议选用带-L后缀的杠杆锁止版本。



