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FLUORO福乐8英寸手动晶圆夹M110-200晶圆镊子平山卫18538758921
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无析出污染设计:整机一体成型,无金属铆钉、无粘接胶水,从源头杜绝金属离子析出污染晶圆有源区域的风险。
无损夹持结构:仅两点接触晶圆侧边外缘,完全不触碰晶圆正反面的光刻胶层、镀膜层和图形面,接触面经光学抛光处理,大幅降低崩边、划伤和微粒产生概率。
特殊耐化学优势:是同系列三款镊子中**可耐受浓硫酸腐蚀的型号,在存在硫酸雾、强氧化性介质飞溅的工况下表现远优于PEEK材质的M100-200。
操作逻辑友好:直压式无锁止结构,手捏夹紧、松手释放,无需外接真空泵和气源,单手即可完成取放操作,切换使用无需改变操作习惯。
内置**限位:端头自带限位挡块,可防止夹持过程中晶圆滑移脱落,避免晶圆意外掉落损坏。
典型适用场景
半导体干法无尘车间内8英寸晶圆的短距离转运、外观检验、实验室取样
机台应急取片、制程中转等无需长距离持料的间歇性操作场景
存在浓硫酸雾、强氧化性介质飞溅风险的特殊工序工位
精密电子制造中夹取大尺寸光学镜片、陶瓷基板等静电非敏感精密元件
⚠️ 使用边界提醒
干法环境使用,不可浸入酸碱药液槽内,湿法工序晶圆取放需选用福乐F系列PTFE耐化学真空吸笔。
无杠杆锁止机构,夹持力完全依赖操作员手指持续施力,不适合长距离转运或长时间持料场景,这类场景建议选用带-L后缀的杠杆锁止版本。
无ESD防静电功能,静电敏感工位(如SiC、GaN裸片、CMOS图像传感器)需选用E100-200导电PEEK型号。



