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FUJIKIN富士金FVPDF-R166LC-EC1气动隔膜阀15713876121

日期：2026-09-04 19:58

浏览次数：102

摘要：FUJIKIN富士金 FVPDF-R166LC-EC1 气动隔膜阀

15713876121

参数项

接口规格 1/2 MVCR 外螺纹

阀体材质 SUS316L EP 电解抛光

隔膜材质 PTFE+EPDM 复合隔膜

驱动方式气动单作用・常闭 NC

驱动气源压力 0.4~0.6 MPa

介质耐受超纯水、酸碱蚀刻液、有机溶剂、高纯气体

高介质温度 90℃

耐压（阀体） 0~0.6 MPa 低压工况

泄漏等级零泄漏，MVCR 金属硬密封

表面粗糙度 Ra≤0.25μm EP 镜面抛光

执行器尺寸 EC1 标准小型气缸，侧面气口 Rc1/8

安装方式面板安装 / 管路直接装配

结构与材质

EP 电解抛光 316L 阀体：内壁光滑无死角，无颗粒析出，适配半导体、光伏、锂电药液输送

MVCR 金属密封接口：相比卡套接头，超高洁净、无渗漏，适合高纯流体管路

PTFE 隔膜完全隔离金属与介质，耐氢氟酸、强酸强碱，不污染流体

EC1 单作用气缸：断气自动关闭

小型紧凑阀体，控制柜、洁净箱内部密集排布节省空间