日本FUJIKIN富士金NFPR-ND-71-9.52-2气动隔膜阀李湘15713876121

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核心技术参数
驱动方式：气动单作用（常闭 NC）
工作压力： 1.0 MPa（10 bar）
驱动气压：0.4～0.6 MPa
流体温度：-10℃ ～ +80℃
口径 / 连接：9.52 mm（3/8"），UJR/VCR 金属垫片卡套
Cv 值：0.65（N₂，20℃）
泄漏等级：阀座零泄漏；外漏 ≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s（He）
操作寿命：≥400 万次
洁净度：完全禁油、超高纯洁净处理
重量：约 0.8～1.0 kg
接液部材质
阀体：SUS316L，EP 电解抛光 Ra≤0.25 μm（可选 UP 超抛光）
隔膜：镍‑钴合金，耐 HCl/HI/HF、低发尘
阀座：PCTFE，耐强腐蚀特气
执行器：铝合金阳极氧化，洁净防静电
特点
高纯洁净：零死区、无滞留死角，气置换性能优异。
强耐腐蚀：镍钴合金隔膜 + PCTFE 阀座，适配Cl₂、HCl、HF、NH₃、SiH₄等特气。
高气密性：金属隔膜 + 金属密封接口，真空 / 高压下稳定密封。
小型轻量：适合特气柜、机台气路密集安装。
典型应用
半导体：CVD/PVD、蚀刻 / 清洗设备超高纯气体 / 特气输送
光伏：硅片制程氨气、硅烷、氯气管路控制
化工：高纯试剂、腐蚀性流体自动开关
真空：真空管路隔离 / 通断
FPR-ND-71-9.52-2
FPR-ND-71-9.52UG-2
FPR-NO-71-9.52-2
FPR-ND-91-9.52-2

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