日本FUJIKIN富士金气动隔膜阀FPR-NDTB-71-6.35-6-CNH平山销售15713876121

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富士金气动隔膜阀 FPR-NDTB-71-6.35-6-CNH
关键特性
全金属隔膜结构：采用 SUS316L 不锈钢隔膜，减少非金属元件颗粒脱落风险，满足超高纯度流体控制需求。
金属对金属密封：通过 UJR 金属垫片式连接（兼容 VCR 标准），实现零泄漏密封，支持重复拆装。
气动驱动：单作用常闭型（NC），依赖 0.4~0.6 MPa 气源驱动，适合自动化系统集成。
耐腐蚀与耐温性：工作温度范围 -10℃~+80℃，工作压力 1.0 MPa（G），适配强腐蚀性介质。
表面处理：经过 EP 电解抛光处理，表面粗糙度 Ra ≤ 0.25 μm，满足半导体级洁净标准。
技术参数与规格
型号 FPR-NDTB-71-6.35-6-CNH
连接尺寸 6.35 mm（1/4 英寸）
阀体材质 SUS316L 不锈钢
隔膜材质 SUS316L 不锈钢金属隔膜
连接方式 UJR 金属垫片式（VCR 兼容）
驱动方式 气动单作用（常闭 NC）
工作压力 1.0 MPa（G）
工作温度 -10℃~+80℃
适用介质 高纯气体（如 SiH₄、NF₃、HCl）、强腐蚀性液体
表面处理 EP 电解抛光（Ra ≤ 0.25 μm）
循环寿命 400 万次以上（φ6.35 口径）
应用场景
半导体制造
用于特气柜（Gas Box）、CVD/PVD 设备供气单元、蚀刻机台化学品管路等关键工艺环节，确保气体纯度与系统密封性。
光伏产业
适配硅烷（SiH₄）、氮化物（NF₃）等高纯气体的输送系统，防止污染导致的电池片效率下降。
特种气体输送
适用于有毒、易燃气体（如 HCl、Cl₂）的截断控制，保障系统**性。

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