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FUJIKIN富士金FCST1200MAC-6J3-F80L-NF3-U气体流量计15188323887

日期：2025-11-12 13:31

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摘要：FUJIKIN富士金FCST1200MAC-6J3-F80L-NF3-U气体流量计15188323887

FUJIKIN 富士金 FCST1200MAC - 6J3 - F80L - NF3 - U并非单纯的流量计，而是一款适配三氟化氮（NF3）的金属密封型数字控制大流量质量流量控制器（MFC）fujikin.com.tw。结合富士金 FCST1200 系列官方型号规则及同系列产品信息，其型号细节、核心特性和应用场景解读如下：

型号完整拆解fujikin.com.tw

该型号的各字段可对照富士金 FCST 系列官方命名规范精准解读，清晰呈现产品核心配置，具体如下：

型号分段	具体含义
FCST1200	属于富士金数字控制大流量型 MFC 核心系列，该系列主打适配工业级大流量气体调控，常应用于对流量稳定性和控制精度要求高的精密制造场景。
MAC	“M” 明确为金属密封设计，区别于橡胶圈密封，适配三氟化氮这类腐蚀性气体，避免密封件被腐蚀导致泄漏；“AC” 推测为模拟 / 数字双模控制或特定功能适配标识，契合**工业场景的信号控制需求。
6J3	对应接口与连接规格，根据富士金官方参数，该标识匹配 3/8 英寸 VCR 接口，同时搭配 9 针 D 型信号接口，既能保障气体输送的密封性，又能实现稳定的信号传输，适配工业设备联动。
F80L	代表流量量程，“F” 是流量规格标识，“80” 对应 80 SLM（标准升 / 分钟），“L” 标注为大流量规格，该量程以对应适配介质的标准参数换算，满足中大型工况下的三氟化氮流量供给需求。
NF3	适配核心介质为三氟化氮（Nitrogen Trifluoride），三氟化氮常用于半导体蚀刻工艺，具有强腐蚀性，该型号针对其特性优化了接触材质与密封结构，避免气体泄漏或设备腐蚀。
U	属于用户指定相关补充标识，同系列产品中该字段多关联合规适配或定制化适配参数，推测用于匹配特定工业场景的**规范或设备兼容需求。

核心特性fujikin.com.tw
- 耐腐蚀密封防护：金属密封设计搭配适配腐蚀性气体的接触材质，**适配三氟化氮的特性，解决了普通密封件易被腐蚀的问题，保障气体输送过程中的密封性和设备使用寿命。
- 合规且品质可靠：作为日本原产设备，同系列产品均带有 CE 认证，符合欧盟工业**与电磁兼容标准，部分二手在售产品标注 90 天质保，新机则具备更完善的品质保障，不过长期使用可能需要定期校准以维持精度。
- 大流量精准调控：属于富士金大流量型 MFC，80SLM 量程可满足中大型工艺的气体供给，同时依托热式测量原理，受温度、压力波动影响小，能精准控制三氟化氮流量，保障工艺稳定性。
典型应用场景fujikin.com.tw

三氟化氮在半导体行业中常作为等离子体蚀刻气体，用于芯片制造过程中精细电路的蚀刻工艺，该型号 MFC 可精准控制其输送流量，避免因流量波动导致蚀刻精度下降，进而影响芯片良率；此外，三氟化氮也用于光伏产业的薄膜沉积等工艺，该型号的金属密封和精准调控特性，也能适配这类场景中对气体纯度和流量稳定性的要求，防止工艺缺陷

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