TORAY氧气分析仪MS-500半导体/液晶/电子零件等氧气计

TORAY氧气分析仪MS-500半导体/液晶/电子零件等氧气计
酸素濃度計 MS-500

TORAY氧气分析仪MS-500半导体/
液晶/电子零件等氧气计15188323887

MS-500
*大8ポイントを同時測定が可能

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ppmレベルから100%の幅広い濃度表示が出来ます。
半導体製造装置、真空装置等への搭載に*適
センサは直挿式(真空用NWフランジ16/25/40)
高耐久のセンサに特殊コーティングを施し、さらに耐久性を向上
MS-500 機器仕様
測定原理 ジルコニア濃淡電池式
形状 分離型（変換器：壁掛式、センサ：直挿式）
表示方式 デジタル4桁表示(濃度表示)
測定レンジ 0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol%O2　10-20～10-0atm
自動レンジ
繰返性 ±0.5%FS以内 0-1%レンジ以上
±1%FS以内または±0.1ppmの大きい方 0-1%レンジ未満
0-1ppm,atmレンジは濃度保証範囲外
測定点数 1～8
サンプルガス条件 圧力 10-3～200KPa（絶対圧）
流量 0.5～5,000mL/minまたは0mL/min(自然拡散状態の測定)
湿度 露点が周囲温度以下
温度 0～100℃
その他 腐食性ガス(フッ素系ガス、塩素系ガス、硫化系ガス等)、有機シリコンを含むガス、可燃成分(ガスも含む)、油分、水分を含まないこと
比較ガス 大気
記録計出力 伝送出力のみ
伝送出力 RS-232C
警報出力 なし
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ウォームアップ時間 6分以内
寸法 MS-500(コントローラ) 92(W)×44(H)×120(D)　(突起部含まず)
MS-510(変換機) 100(W)×40(H)×88(D)　(突起部含まず)
センサユニット SD16NW 全長100mm(センシング部Φ11×39,胴体部Φ40×51)
SD25NW 全長100mm(センシング部Φ11×42,胴体部Φ40×48)
SD40NW 全長100mm(センシング部Φ11×41,胴体部Φ40×49)
質量 MS-500(コントローラ) 約0.6Kg
MS-510(変換器) 約0.5kｇ
センサユニット SD16NW 約0.2Kg
SD25NW 約0.2Kg
SD40NW 約0.35Kg
外部接続 真空フランジ(NW16,25,40)のいずれか
使用電源 24VDC±10%