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动态详情
SIMCO-ion思美高离子风棒5635安装位置
日期:2025-06-07 06:02
浏览次数:287
摘要:SIMCO-ion思美高离子风棒5635安装位置
SIMCO-ion思美高离子风棒5635安装位置
SIMCO-ion思美高离子风棒5635安装位置
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SIMCO-ion思美高离子风棒5635安装位置
SIMCO-ion思美高离子风棒5635安装位置
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SIMCO-ion思美高离子风棒5635安装位置
SIMCO-ion思美高离子风棒5635安装位置
SIMCO-ion思美高离子风棒5635安装位置
特征
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单晶硅电极在全球范围内拥有****的应用记录,可避免电极材料污染金属以及超低颗粒特性的风险。
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高静电消除性能,可通过原始MP(脉冲调制)方法有效地将离子传输到目标
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很小的潜在摆动特性,即使在100 mm的距离上也可以使用,并且离子平衡,在棒的长度上几乎没有偏差
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智能控制电路不断自动管理离子产生状态和离子平衡
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可以在1/4圈上拆装的可更换电极有助于减少维护人力
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MP方法的电位摆幅非常小,简化了设置过程,并且较小的电位摆幅有效地将长期离子平衡保持在控制标准之内。
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设置一条长度适合EFEM的长度以进行半导体前处理
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内置24V DC驱动器控制器的紧凑型设计
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遍布全球的上等支持网络
规范
5635型AeroBar MP
输入电压 | 24V DC +/- 10% |
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输出电压 | 高达13.5kv pp可调 |
安装距离 | 100mm-1000mm(不吹气) |
离子产生方法 |
电晕放电法 MP(脉冲调制)法调制频率1-33 Hz |
离子平衡 |
自动平衡调整方法 <+/- 10V,由于位置<+/- 10v (600毫米距离)而引起的内杆差异 |
电极 | 单晶硅电极可更换 |
吹扫气体 | 清洁干燥的空气或氮气 |
Z大吹扫压力 | 310Kpa |
臭氧量 | <0.05ppm(24小时累计值) |
信号输出 | 警报IO集电极开路输出 |
尺寸 | 高度78毫米x深度34毫米x长度低于 |
450 / 600 / 850 / 1000 / 1150 / 1300 / 1450 / 1600 / 1750年/二千○五十○分之一千九百/ 2200 /2350毫米 |
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外观 | ABS树脂 |
什么是扩展ISO 1,10nm级?
关于扩展的ISO Class 1,10nm?ION Systems自己对清洁度的定义,以支持微粒管理。ISO14644-1的Z小粒径定义为100 nm。扩展ISO 1,10nm级别使用与ISO14644-1相同的公式来计算允许的颗粒数量,并且允许的颗粒数量为1200pc / m3(34pc / ft3),且颗粒大小为10nm或更大。