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主营进口气动工具(油压脉冲扳手,风批,控制器);电动工具(电动螺丝刀,扭力测试仪);环境设备(集尘机,鼓风机,吸尘器);自动化控制器材(气管,接头,继电器,传感器,导轨,滑轨等);防静电产品(静电测试仪,离子风机,离子风棒);物流搬运设备(堆高机,拖板车,叉车)等产品的销售
联系我们:15890105855
产品资料
简单介绍:
美国MOTT GasShield® 垫片过滤器 GSG-V4-1-N
美国MOTT GasShield® 垫片过滤器 GSG-V4-1-N
美国MOTT GasShield® 垫片过滤器 GSG-V4-1-N
详情介绍:
美国MOTT GasShield® 垫片过滤器 GSG-V4-1-N 详询电/微韩15136225125
产品规格产品编号:2324100
产品规格
工作条件
» 惰性气体的*高工作温度:450°C
» *大压差:1000 psid 正向或反向 (68.9 barg)
材料
» 硬件:316LSS 或镍
» 过滤介质:316L 不锈钢或镍
» 哈氏合金或定制材料联系我们
规格
颗粒去除粒径: ≥ 0.003 微米
氦气泄漏等级: 1 x 10-9 大气压 cc/秒
水分贡献: 根据 SEMI F27 测试方法,在低流量环境吹扫下 1 小时后 <10 ppb
总碳氢化合物: 低于 SEMASPEC 90120396B 测试方法的可检测限值
颗粒脱落: 根据 SEMI F43-0308 测试方法,高于本底的零颗粒贡献(<1 颗粒/立方英尺)
配件和尺寸
典型安装
零件描述 流量等级 (SLPM) 过滤材料 面密封垫片尺寸(英寸) 元件长度(英寸) 更换间隔
GSG-V4-1-N 系列 1 镍 ¼ 1 系统相关
GSG-V4-3-N 系列 3 镍 ¼ 3 系统相关
GSMM-75-010-33
GSMM-75-030-33 20 镍 ¼ 1 系统相关
GSG-V5-1-2N 系列 50 镍 ½ 1 系统相关
GSG-V4-1-S 系列 1 316L 不锈钢 ¼ 1 系统相关
GSG-V4-3-S 系列 3 316L 不锈钢 ¼ 3 系统相关
GSG-V4-1-2S型 20 316L 不锈钢 ¼ 1 系统相关
GSG-V5-1-2S 系列 50 316L 不锈钢 ½ 1 系统相关
*提供定制设计和配件。

产品规格产品编号:2324100
产品规格
工作条件
» 惰性气体的*高工作温度:450°C
» *大压差:1000 psid 正向或反向 (68.9 barg)
材料
» 硬件:316LSS 或镍
» 过滤介质:316L 不锈钢或镍
» 哈氏合金或定制材料联系我们
规格
颗粒去除粒径: ≥ 0.003 微米
氦气泄漏等级: 1 x 10-9 大气压 cc/秒
水分贡献: 根据 SEMI F27 测试方法,在低流量环境吹扫下 1 小时后 <10 ppb
总碳氢化合物: 低于 SEMASPEC 90120396B 测试方法的可检测限值
颗粒脱落: 根据 SEMI F43-0308 测试方法,高于本底的零颗粒贡献(<1 颗粒/立方英尺)
配件和尺寸
典型安装
零件描述 流量等级 (SLPM) 过滤材料 面密封垫片尺寸(英寸) 元件长度(英寸) 更换间隔
GSG-V4-1-N 系列 1 镍 ¼ 1 系统相关
GSG-V4-3-N 系列 3 镍 ¼ 3 系统相关
GSMM-75-010-33
GSMM-75-030-33 20 镍 ¼ 1 系统相关
GSG-V5-1-2N 系列 50 镍 ½ 1 系统相关
GSG-V4-1-S 系列 1 316L 不锈钢 ¼ 1 系统相关
GSG-V4-3-S 系列 3 316L 不锈钢 ¼ 3 系统相关
GSG-V4-1-2S型 20 316L 不锈钢 ¼ 1 系统相关
GSG-V5-1-2S 系列 50 316L 不锈钢 ½ 1 系统相关
*提供定制设计和配件。
