MITUTOYO三丰形状测量系统UVS2系列

MITUTOYO三丰形状测量系统UVS2系列

MITUTOYO三丰形状测量系统UVS2系列

MITUTOYO三丰形状测量系统UVS2系列

*小径15µmのスタイラスにより、微細領域の接触測定が可能です。
主な特長
*小径15µmのスタイラスにより、微細領域の接触測定が可能です。
*小1µN（UMAP103）の超低測定力により、変形しやすいワークでも測定が可能です。
スタイラス径の異なるUMAPを*大3種類まで組み合わせ可能。脱着交換はお客様自身で行えます。
UMAPでの接触測定と画像方式による非接触測定を1台で実現。目視困難な部分でも、画像モードで位置決めを行い、その後UMAPによる狙いこみ測定が可能です。
高NAと低ディストーションの高性能対物レンズと新光学系の採用により、高いエッジ検出能力を発揮します。
基準となる測長系には、線膨張係数（0±0.02）×10⁻⁶Kの低膨張ガラススケールを採用し、温度変化によるスケールの伸縮を*小限に抑えています。
仕様
符号 UVS2-H302P1L-D UVS2-U404P1N-D
測定範囲(XxYxZ)(mm)
300×200×200
400×400×200
*小表示量(µm)
0.02
0.01
測定精度(E1XY軸)(um)
（0.8+2L/1000）
（0.25＋L/1000）
測定精度(E1Z軸)(um)
（1.5+2L/1000）
（1.5+2L/1000）
測定精度(E2XY平面)(um)
（1.4+3L/1000）
（0.5＋2L/1000）
カメラ
CCD白黒カメラ
CCD白黒カメラ
観察装置
プログラム制御パワーターレット 1x,2x,6x
プログラム制御パワータレット　1X,2X,6X系
照明 垂直落射照明
白色LED
ハロゲン
照明 透過照明
白色LED
ハロゲン
照明 リング照明
白色LED
ハロゲン
使用空気圧(MPa)
0.4
0.4
精度保証 温度(℃)
18～23
19〜23
精度保証 温度変化(℃/H)
0.5/1,1/24
測定物 *大積載質量(kg)
15
本体質量(設置台含む)(kg)
370
2035
載物ガラス寸法(mm)
399×271
493×551
本体外観寸法(WxDxH)(mm)
859×951×1609
1735×1200×1910(設置台含む)
UMAP画像 共通測定範囲(XxYxZ)(mm)
285×400×175
ULTRA 測定精度(E1Z軸)(um)(50mmストローク時)
（1.0＋2L/1000）
温度補正機能
自動温度補正
供給空気流量(L/min)(ANR)
300
UVS2-H302P1L-D UVS2-U404P1N-D