日本FUJIKIN富士金NFPR-ND-71-6.35-2气动隔膜阀平山销售15713876121

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日本FUJIKIN富士金NFPR-ND-71-6.35-2气动隔膜阀平山销售15713876121

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产品概述

日本FUJIKIN富士金NFPR-ND-71-6.35-2

类型：低压气动隔膜阀

应用领域：适用于半导体制造、光伏等对密封性与洁净度要求极高的工业场景，如超高纯气体输送系统（如SiH₄、NH₃、Cl₂等）、特气柜（Gas Box）、CVD/PVD设备供气单元、蚀刻与清洗设备等关键工艺环节。

产品特点

高气密性：采用直动式隔膜结构，实现高气密性设计，确保系统在高压、高腐蚀、高洁净环境下的**稳定运行。

高耐久性：隔膜材质为镍钴合金，具备**的抗疲劳性能，操作寿命可达400万次以上（φ6.35型号）。

小型化与轻量化：在保留原有MEGA-ONE LA性能的基础上，进一步优化执行器结构，实现小型化与轻量化，节省安装空间，提升系统集成灵活性。

无颗粒释放与无死角：接液部分全部采用EP（电解抛光）处理，表面粗糙度极低，防止污染；可选UP（超纯）处理以满足更严苛的洁净要求。

多种端接方式：支持UJR（VCR兼容）、UPG、F900压缩式、Tube Stub、IGS表面安装等多种端接方式，适用于新旧气体管路的灵活部署。

产品规格

口径：6.35mm（1/4英寸）

*高使用压力：1MPa

使用流体温度范围：-10℃~80℃

Cv值：0.3（20℃氮气时）

动作压力：0.4~0.6MPa

操作压力连接口：M5×0.8

连接接头：UJR、UPG、F900自动熔接接头

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